Conduction Par Pieges Dans Les Films Minces de Dioxyde de Silicium

Le marché des mémoires non volatiles ŕ grille flottante connaît un essor considérable du fait de leur utilisation croissante dans tous les domaines d'applications de la microélectronique et par conséquent dans de trčs nombreux secteurs industriels. Cependant, ces dispositifs mémoires se heurtent ŕ une limite technologique liée ŕ l'impossibilité de réduire l'épaisseur de la couche d'oxyde tunnel isolant la grille flottante contenant l'information, sans atteindre le domaine des courants de fuite induits (Stress Induced Leakage Current). Ces fuites engendrent des pertes de charge qui diminuent drastiquement le temps de rétention et la durée de vie des cellules mémoires. Ŕ travers ce livre riche en détails techniques et scientifiques, l'auteur aborde successivement les nombreuses étapes indispensables qui doivent ętre prises en compte lors du développement d'outils de caractérisation adaptés ŕ la mesure des courants SILC inférieurs au fA. Il explique également, en les justifiant, chaque étape de la construction d'un modčle de conduction assisté par des pičges situés dans l'oxyde de grille et permettant de réaliser l'extraction des profils spatial et énergétique de ces défauts.